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镭测科技Leice激光干涉仪LH1000双频激光干涉仪信息二维码

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品牌 镭测科技
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更新 2024-07-13 12:56
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产品详情

基本参数

品牌：

 镭测科技

所在地：

 广东 东莞市

起订：

 ≥1 PCS

供货总量：

 未填

有效期至：

 长期有效
详细说明
专为光刻机配套开发的高精度测量系统；

通过国家重大专项“极大规模集成电路制造技术及成套工艺”项目验收。

采用直接输出线偏振光的双频激光器；

非线性高精密测量系统，测量更精准；

可提供1~20MHz频差内任意频差产品，满足各种测量速度需要。

光源和测量信号接收单元分体式设计，方便搭建XY位移台等多轴测量系统；

精巧的测量信号光纤接收头，即使空间狭小也能方便安装；

标准光刻机干涉仪安装尺寸和数据接口，可直接替换现有产品。

型号

频差(MHz)

最小出光功率(μW)

光斑尺寸(mm)

稳频精度(ppm)

LH1000A

1.5±0.5

>500

6

±0.02

LH1000B

2.5±0.5

>500

6

±0.02

LH1000C

3.5±0.5

>500

3,6,9

±0.02

LH1000D

4.5±0.5

>500

6,9

±0.02

LH1000DL

5.5±0.5

>500

6,9

±0.02

LH1000EL

6.5±0.5

>500

6

±0.02

LH1000FL

7.5±0.5

>500

6,9

±0.02

LH1000GL

8.5±0.5

>500

9

±0.02

LH1000H

9.5±0.5

>500

3,6,9

±0.02

LH1000I

10.0-20.0(按需定制)

>500

3,6,9

±0.02


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