Zeta-20白光共聚焦

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产品描述

Zeta-20是一款紧凑牢固的全集成光学轮廓显微镜，可以提供3D量测和成像功能。该系统采用ZDot™技术，可同时采集高分辨率3D数据和TrueColor（真彩）无限远焦点图像。Zeta-20具备Multi-Mode（多模式）光学系统、简单易用的软件、以及低拥有成本，适用于研发及生产环境。

Zeta-20台式光学轮廓仪是非接触式3D表面形貌测量系统。该系统采用ZDot™技术和Multi-Mode(多模式)光学系统，可以对各种不同的样品进行测量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理，以及纳米至毫米级别的台阶高度。

Zeta-20的配置灵活并易于使用，并集合了六种不同的光学量测技术。ZDot™测量模式可同时采集高分辨率3D数据和TrueColor（真彩）无限远焦点图像。其他3D测量技术包括白光干涉测量、Nomarski干涉对比显微镜和剪切干涉测量。ZDot或集成宽带反射仪都可以对薄膜厚度进行测量。Zeta-20也是一种高级显微镜，可用于样品复检或自动缺陷检测。Zeta-20通过提供全面的台阶高度、粗糙度和薄膜厚度的测量以及缺陷检测功能，适用于研发及生产环境。