Talysurf CCI三维非接触形貌仪采用CCI(专利技术的相干相关算法)干涉原理,可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸,并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件,半导体器件,光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。
技术参数:
(1)类型: CCI干涉(相干相关干涉)
(2)分辨率: 0.1A
(3)测量点数:1,048,576(1024x1024点阵)
更详细参数和有关应用问题请垂询办事处产品负责人。
主要特点:
•专利的相干相关算法
•0.01nm分辨率
•10-20秒测量时间
•RMS重复性:0.03A



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