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更新 2024-07-13 12:59
 
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基本参数

品牌:

布鲁克

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广东 东莞市

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≥1 PCS

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详细说明
DektakXTLaseline;top:-0.5em;color:rgb(51,51,51);background-color:rgb(255,255,255);">™ 探针式轮廓仪可容纳高达350mmx350mm的样品,为大型晶圆和面板制造带来Dektak®传奇的可重复性。DektakXTL具有空气振动隔离设计和全封闭工作站设计,具有易用的联锁门,是当今苛刻的生产车间环境的的理想之选。其双摄像头架构可增强空间感知能力,其高自动化水平可大限度地提高测试通量。



增强的软件功能使DektakXTL成为功能强大、容易使用的探针式轮廓仪。该系统利用Vision64软件,通过数百种内置分析工具实现众多的测量位点、3D成像和高度自定义的特征分析。Vision64软件还能测量形状,如曲率半径。模式识别可大限度地减少操作员误差并提高测量位置精度。集成化的软件包将数据收集和分析与直观的工作流程相结合。



DektakXTL以50多年的探针式轮廓仪的专业知识和生产设施的应用程序定制为基础,以满足当今和未来严格的行业路线图。300毫米高精度编码XY样品台为制造商提供了满足严格计量研发要求的可靠工具。Dektak的双摄像头控制与高清放大双视场相机提供增强的空间感知。实时视频中的点击定位使操作员能够快速将样品移动到正确的位置,以便快速轻松地进行测量设置和自动化编程。该系统的大型联锁门为样品装载/卸载提供了安全、方便的访问。


其他硬件功能包括:

  • 单拱形架构和集成振动隔离系统

  • 快速更换自对齐探针

  • 高精度编码XY样品台,实现更快的自动数据收集

  • N-Lite低力,采用软触控技术,具有1mm测量范围,可同时用于测量精密和高垂直范围样品


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