KLAP-170台阶仪_电子测量仪器_物性测定_仪器设备_供应

产品详情

基本参数

品牌：	KLA-Tencor
所在地：	广东东莞市
起订：	≥1 PCS
供货总量：	未填
有效期至：	长期有效

详细说明

P-170StylusPrngstyle="font-family:微软雅黑,MicrosoftYaHei;font-size:36px;">ofiler

P-170是cassette-to-cassette探针式轮廓仪，可提供几纳米至一毫米的台阶高度测量功能，适用于生产环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接。P-170具有先进的图案识别算法、增强的光学系统和先进的平台，这保证了性能的稳定和系统间配方的无缝移植-这是24x7生产环境的关键要求。

产品描述

P-170是cassette-to-cassette探针式轮廓仪，将行业的P-17台式系统的测量性能和经过生产验证的HRP®-260的机械传送臂相结合。这样的组合为机械传送臂系统提供了极低的拥有成本，适用于半导体，化合物半导体和相关行业。P-170可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接。

该系统结合了UltraLite®传感器、恒力控制和超平扫描平台，因而具备出色的测量稳定性。通过点击式平台控制、顶视和侧视光学系统以及带光学变焦的高分辨率相机等功能，程序设置简便快速。P-170具备用于量化表面形貌的各种滤镜、调平和分析算法，可以支持2D或3D测量。并通过图案识别、排序和特征检测实现全自动测量。

主要功能

台阶高度：几纳米至1000μm

微力恒力控制：0.03至50mg

样品全直径扫描，无需图像拼接

视频：500万像素高分辨率彩色摄像机

圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差

软件：简单易用的软件界面

生产能力：通过测序、图案识别和SECS/GEM实现全自动化

晶圆机械传送臂：自动加载75mm至200mm不透明（例如硅）和透明（例如蓝宝石）样品

主要应用

台阶高度：2D和3D台阶高度

纹理：2D和3D粗糙度和波纹度

形状：2D和3D翘曲和形状

应力：2D和3D薄膜应力

缺陷复检：2D和3D缺陷表面形貌

工业应用

半导体

化合物半导体

LED：发光二极管

MEMS：微机电系统

数据存储

汽车

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