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品牌 KLA-Tencor
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更新 2024-07-13 13:00
 
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产品详情

基本参数

品牌:

KLA-Tencor

所在地:

广东 东莞市

起订:

≥1 PCS

供货总量:

未填

有效期至:

长期有效
详细说明

P-7StylusProfiler



产品描述P-7支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量,适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达150mm而无需图像拼接。


P-7建立在市场领先的P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。它保持了P-17技术的强大测量性能,并作为台式探针轮廓仪平台提供了超高的性价比。P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达150mm而无需图像拼接。







主要功能
  •    台阶高度:几纳米至1000μm

  •    微力恒力控制:0.03至50mg

  •    样品全直径扫描,无需图像拼接

  •    视频:500万像素高分辨率彩色摄像机

  •    圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差

  •    软件:简单易用的软件界面

  •    生产能力:通过测序,模式识别和SECS/GEM实现全自动化


  • 主要应用
  •    台阶高度:2D和3D台阶高度

  •    纹理:2D和3D粗糙度和波纹度

  •    形状:2D和3D翘曲和形状

  •    应力:2D和3D薄膜应力

  •    缺陷复检:2D和3D缺陷表面形貌


  • 工业应用
  •    大学、研究实验室和研究所

  •    半导体和化合物半导体

  •    LED:发光二极管

  •    太阳能

  •    MEMS:微机电系统

  •    数据存储

  •    汽车

  •    医疗设备


  • 主要技术参数
  •    重复性:≤4A(0.10%)

  •    垂直分辨率:0.01A

  •    水平分辨率(X):0.025um

  •    水平分辨率(Y):0.5um

  •    采样率:5~2000Hz

  •    垂直线性度:

         士0.5%>2000A.

         10As2000A

  •    针压范围:0.03~50mg

  •    最大测量长度:150mm

         (无需拼接)

  •    扫描速度:2um/s-25mm/s





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