产品详情

基本参数

品牌：	KOSAKA
所在地：	广东东莞市
起订：	≥1 PCS
供货总量：	未填
有效期至：	长期有效

详细说明

产品‍‍概要：

KOSAKAET200A是KOSAKA新推出的经济型台式两用机型：6寸台阶仪（支持升级到8寸载物台）和粗糙度轮廓仪。可根据用户需求任意组合，是一款带有专用控制器的高精度、高性能的表面粗糙度测量仪器。

基本信息：

ngstyle="">极佳重复性与线性度

采用直动式检测方式，可避免圆弧补正误差，可避免Bearing间隙误差；台阶测定重复性：1σ0.2nm以内,但实际可达0.1nm；Z方向线性度为±0.25%(样品厚度>2000A);5A(样品厚度≤2000A)

ngstyle="">直动式检出器构造

ngstyle="">直动式检出器测量边沿效应

ngstyle="">重复测量数据(10times)

ngstyle="">TaylorHobson标准样

ngstyle="">直动式检出器测量边沿效应

ngstyle="">VLSISHS-9400QC

ngstyle="">VLSISHS-440QC

ngstyle="">实时监控测量位置

ngstyle="">超高直线度国际认证数据

ngstyle="">位移光栅尺与时间取样

ngstyle="">形状及粗度解析

粗度规范对应：可对应各种国际新旧标准规范，测量参数多达60种；可测量台阶及倾斜度。

ngstyle="">超大测定力范围

测定力在10~500uN、1~50mgf可任意设定可测定软质材料面，如:COLORFILTER、SPACER、PI等。

ngstyle="">触针保护盖板及方便更换

技术优势：1、设备主体花岗岩，低热膨胀，低重心，自隔震

2、独特的直动式传感器设计

3、Z方向重复性1σ0.2nm以内,但实际可达0.1nm

4、Z方向线性度为±0.25%(样品厚度>2000A);5A(样品厚度≤2000A)

5、样品台的垂直直线度保证：局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm

6、高精度的X方向位移光栅尺控制，X方向测量长度大至100mm，Y方向可移动150mm

7、自带三维测量功能

应用方向：主要用于平板显示器、硅片、硬盘等的微细形状台阶／粗度测定，对多种零件表面的粗糙度，波纹度以及原始轮廓进行多参数评定，另外也可利用微小测定力来对应软质样品表面测定。‍‍

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KOSAKA台阶仪ET200A台阶仪/粗糙度轮廓仪
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