有源冷阴极潘宁(AIM200)真空计可在1x10-2至1x10-9mbar真空范围内提供准确的测
量,从科学仪器到工业制成,已被证明可在各种应用场合中保持耐用性和可靠性。
AIM200设备内部的微处理器可以在点火过程中自动控制放电电压;点火成功后自动降
低放电电压,减少溅射,降低污染,延长规管使用寿命。
AIM200使用智能的升压控制,将周期性尝试点火长达30min。钼阳极的使用,大大改善
了真空规的密封性能<1x10-9mbar*l/s。极低的磁场强度,非常适合与灵敏的分析仪器配
合使用,或用于需将真空计安装在涡轮分子泵附近的应用。
AIM200使用多点星型点火,同时具备4.5KV的高升压值,即使在污染严重的情况下,也
有助于仪表点火。另外,由于高磁导率的阴极板,磁场线约束的更好减少了溅射屏蔽正
上方不稳定放电的可能性。
技术数据
压力范围
0至+50°C
应用
适用于处于1x10-2~1x10-9mbar范围内的所有需要可靠稳定的压力指示的真空应用。典型制程包括从一般真空到工业镀膜机和熔炉再到科学仪器和半导体等各种应用。



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