控制类型: 压力或流量控制
模块类型: 进样口、检测器或辅助控制
输入压力范围: 0~100psi
压力控制精度: 0.001psi(EPC-M101E)或 0.01psi(EPC-M101S)
压力准确度: <±1%
压压力准确度: <±1%
流量控制范围: 0~1000mL/min
流量准确度: <±3mL/minNTP或7%设定值
流量重复性: <±0.35%设定值
响应时间: <10ms
气路接口: 1/16”
气阻: 嵌入式可更换
气体类型: He,H2,N2,Ar,Air
环境补偿: 温度、压力
通信方式: RS485,RS232或其他
电源: 24VDC额定
操作温度: 0°C~60°C
尺寸: 49x29x40mm



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