离子溅射仪喷金仪镀膜仪SD-3000

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    SD-3000型离子溅射仪外观亮丽做工精致，旋钮式定时器档位清晰，手感舒适；

    特殊定制的真空指示和电流指示表头沉稳大；

    前面板上的微泄漏气阀门可以连接多种气体；

    调节溅射电流大小，成膜速度快，质量好；

    高压输出可使成膜更加牢固快速。

    功能控制和定时皆由CPU调度，使用范围广。

    工作时结合内部自动控制电路很容易控制真空室压强、电离电流及选择所需的电离气体，获得最佳镀膜效果。

    配有高位定性的飞跃真空泵。

   SD-3000型是一款针对做电极研究和半导体研究的仪器，相对于基础型溅射仪，SD-3000型的镀层和样品之间更贴合，更有附着力，以便后续的研究。

需要镀膜的样品

1、电子束敏感的样品:

主要包括生物样品，塑料样品等。SEM中的电子束具有较高能量，在与样品的相互作用过程中，它以热的形式将部分能量传递给样品。如果样品是对电子束敏感的材料，那这种相互作用会破坏部分甚至整个样品结构。这种情况下，用一种非电子束敏感材料制备的表面镀层就可以起到保护层的作用，防止此类损伤；

2、非导电的样品:

由于样品不导电，其表 面带有“电子陷阱”， 这种表面上的电子积累 被称为“充电”。为了 消除荷电效应，可在样 品表面镀一层金属导电 层，镀层作为一个导电 通道，将充电电子从材 料表面转移走，消除荷 电效应。在扫描电镜成 像时，溅射材料增加信 噪比，从而获得更好的成像质量。

3、新材料:非导电材料和半导体材料

参数：

?主机规格：340mm×390mm×300mm（W×D×H）

?靶（上部电极）：金：50mm×0.1mm（D×H）

?靶材：Au（标配）

?样品室：硼硅酸盐玻璃160mm×120mm（D×H）

?靶材尺寸：Ф50mm   

?真空指示表：最高真空度：≤4X10-2  mbar

?离子电流表：最大电流：50mA

?定时器：   最长时间：1-360s

?微型真空气阀：可连接φ3mm软管

?可通入气体：多种

?最高电压： -2800 DCV

?机械泵：标准配置2L/S（国产VRD-8）

特点：

1、简单、经济、可靠、外观精美。

2、可调节溅射电流和真空室压强以控制镀膜的速率和颗粒的大小。

3、SETPLASMA手动启动按钮可预先设置好压强和溅射电流避免对膜造成不必要的损伤。

4、真空保护可避免真空过低造成设备短路。

5、同时可以通过更换不同的靶材（金、铂、铱、银、铜等），以达到更细颗粒的涂层。

6、通过通入不同的惰性气体以达到更纯净的涂层。

7、涂层牢固，特别适用于非导体材料实验电极制作和半导体材料的研究。