- ZEP520A 电子束光刻胶 核心参数
- 详细介绍
- 商品详情
超高分辨率电子束光刻胶:ZEP520A
特性
ZEP520A是一种有超高分辨率、耐干法蚀刻特性的非化学增幅(断链型)负性电子束光刻胶。是目前世界上性能最hao的电子束光刻胶之一,其优良的性能在行业内受到广泛的认可。
电子束光刻胶产品表

电子束光刻胶专用显影液
旋涂曲线

超高分辨率
ZEP520A分辨率高达 L/S=25nm/25nm(FT=50nm)
显影液:ZED-N50样品测评:用苯甲醚将ZEP 520 A-7稀释2.1倍

- 产品优势
- ZEP520A是一种高性能正电子束电阻,具有高分辨率、高分辨率敏感性和耐干腐蚀性。适用于各种电子束工艺。
| 仪器种类: | 在线 |



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