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带MHU的半自动计量设备
带材料处理单元的计量工具是专门为半导体、MEMS、蓝宝石和LED行业开发的。典型应用是在各种光刻工艺步骤中测量裸晶片、涂层晶片和结构化晶片。由于机械臂带有两个真空端部执行器，该设备的吞吐量非常高，每小时可达220个晶片。它可以处理2到8英寸的晶片尺寸。最多可以处理4个打开的盒式磁带，并且可以在设备中集成预对准器和OCR读取器。
主营：www.yunshiji.cn
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