由于LambdaVisionTFW-100分光膜厚仪是非接触式和非破坏性的,因此可以在不损坏样品的情况下快速方便地进行测量。广泛用于研发和在线质量控制中的薄膜厚度测量。高精度、高稳定性
LambdaVisionTFW-100分光膜厚仪特点
可以非接触、非破坏性方式测量薄膜厚度
厚度范围从10nm到1000μm,多可测量三层
不仅能测量薄膜厚度,还能测量光学乘数(n、k)(多达3个总参数)
支持微小点测量
还可测量滤光片颜料膜厚
LambdaVisionTFW-100分光膜厚仪测量原理
假设在折射率为n2的基底上有一层厚度为d、折射率为n1的薄膜,如图所示。考虑从空气(折射率n0)入射到薄膜上的光线。光在美丽的路径上被反射,在穿过薄膜并反射到基底表面的成分中,还有一个成分从薄膜中射出,可以作为反射光被捕获。由于光是一种波,这些反射成分会相互干涉。考虑到入射光垂直于基底入射,这种干涉的减弱和加强取决于光学膜厚度nd(即绝对膜厚度n乘以厚度d)和波长。
LambdaVisionTFW-100分光膜厚仪技术规格