EQP等离子体质量和能量分析质谱仪

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仪器简介：
HidenEQP是一台结合质量和能量分析的仪器（MassandEnergyAnalyserforPlasmaDiagnostics），用于分析等离子过程中阴、阳离子、中性粒子以及自由基。


技术参数：
应用：

蚀刻 / 沉积作用研究
离子植入 / 激光烧蚀
残余气体分析 / 泄漏检测
等离子体电感耦合，即在操作中遵从电极设定条件
通过视口、接地电极和驱动电极进行分析


主要特点：
软件控制的离子汲取光学系统，以使等离子体扰动最小
45°静电扇区分析器，扫描能量增量 0.05 eV / 0.25eV FWHM
所有能量范围内，离子行程的最小扰动，及恒定离子传输
带差式泵的三级过滤四极杆，质量数范围至2500amu
高灵敏度 / 稳定的脉冲离子计数检测器，有7个数量级的动态范围
可调谐的离子源，用于电子附着选件的表观电势质谱分析
Penning规和互锁装置可提供过压保护
信号选通分辨率1μs，用于研究脉冲等离子体或能量、质量分布随时间的变化
1000eV 选配, 漂浮电压可选至10keV, Faraday 杯用于高密度等离子体
Mu-Metal, Radio-metal 屏蔽可选,高压操作可选
通过RS232、RS485或Ethernet LAN，控制软件MASsoft