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品牌 马弗炉MUFFLEFURNACEMFL
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更新 2024-07-17 09:30
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产品详情

基本参数

品牌：

 马弗炉MUFFLEFURNACEMFL

所在地：

 广东 东莞市

起订：

 ≥1 PCS

供货总量：

 未填

有效期至：

 长期有效
详细说明
一、产品描述MFLPECVD408-12是一款PECVD系统的管式炉系统。由真空管式炉、射频电源、供气系统、真空系统组成。 最高温度可以达到1200度，采用30段程序温控仪表，K型热电偶，炉膛为高纯氧化铝陶瓷纤维,此设备可用于生长纳米线或用CVD方法制备各种薄膜。



mportant;font-weight:500!important;text-transform:uppercase!important;">二、产品特点
  • 1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。

  • 2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低

  • 3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小

  • 4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。

  • 5、广泛应用于：各种薄膜的生长，如：SiOx,SiNx,SiOxNy和无定型硅(a-Si:H)等。


    • ngstyle="font-size:20px;">

    二、技术参数

    设备型号

    MFLPECVD408-12

    管式炉

    控温范围

    室温-1200℃

    工作温度

    ≤1100℃

    加热区长度400mm石英管
    直径80mm，长1400mm (管径可选50，60，100)控温精度

    ＜1000  ±0.1℃；≥1000±1℃

    恒温波动

    ±1℃（测试点为1000℃）

    升温速度

    推荐1000度以下≤10℃/min，最快升温速度≤30℃/min

    降温速度

    700℃以上≤10℃/min

    炉表温度

    炉体表面温度小于室温+10（测量点为1000℃）

    测温元件K型热电偶控温模式
    模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能电压功率220V 3KW供气系统

    气路通道4路气路流量控制质子流量控制器（七星流量计）控制精度±1.5%F.S重复精度±0.2%F.S流量范围1-500SCCM机械压力表一块机械压力表在面板，和混气灌连接量程：-0.1～0.15Mpa真空系统

    方案一（低真空：机械泵）

    电源220V极限真空度5X10-1 Pa抽气速率
    2升/每秒
    真空挡板阀 KF25型号VRD-8电机功率0.4KW
    真空系统

    方案二（高真空：机械泵+分子泵机组）

    型号GZK-16-600 电源AC100-240  50/60HZ  功率1KW 重量25KG 极限压强1.0*10-4Pa进、排气接口KF40冷水机最大流量10L/MIN真空计
    复合真空计真空ngstyle="font-family:Arial,宋体,Helvetica,sans-serif,Verdana;">控制精度±1%真空计测量范围
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