5865-91-8
METHYLTRIETHOXYGERMANE(METHYLTRIETHOXYGERMANE)
CAS: 5865-91-8
化学式: C7H18GeO3
<"" ="xl" "">中文名 | METHYLTRIETHOXYGERMANE |
英文名 | METHYLTRIETHOXYGERMANE |
英文别名 | METHYLTRIETHOXYGERMANE Germane, triethoxymethyl- Methyl-triaethoxy-germanium |
CAS | 5865-91-8 |
化学式 | C7H18GeO3 |
分子量 | 222.86 |
密度 | 1,13 g/cm3 |
熔点 | <0°C |
沸点 | 166-167°C |
闪点 | 40°C |
折射率 | 1.4128 |
敏感性 | 7: reacts slowly with moisture/water |
比重 | 1.1280 |
风险术语 | 10 - 易燃。 |
安全术语 | 16 - 远离火源。 |
危险品运输编号 | 1993 |
TSCA | No |
5865-91-8 - 简介
METHYLTRIETHOXYGERMANE(正丙醇三乙氧基锗烷)是一种有机金属化合物。下面是关于它的性质、用途、制法和安全信息的详细介绍:性质:
- METHYLTRIETHOXYGERMANE 是无色至浅黄色液体,具有刺激性气味。
- 它在常温下易挥发,其密度轻于水。
- 该化合物具有较好的热稳定性和化学稳定性。
用途:
- METHYLTRIETHOXYGERMANE 主要用于半导体材料领域,作为气体源应用于化学气相沉积(CVD)和金属有机化学气相沉积(MOCVD)的过程中。
- 它在沉积锗硅薄膜和制备金属有机化合物薄膜等方面具有重要应用。
制法:
- METHYLTRIETHOXYGERMANE 的主要合成方法是通过锗和三乙氧基化合物反应得到。
- 一种常见的制备方法是将三乙氧基锗烷与甲基锂反应,产生 METHYLTRIETHOXYGERMANE。
安全信息:
- METHYLTRIETHOXYGERMANE 是一种刺激性化合物,应避免直接接触皮肤和眼睛。
- 在使用时应保持通风良好的环境,并配备个人防护设备,如护目镜、橡胶手套和防护服。
- 这种化合物具有可燃性,应远离火源和高温。
- 在储存和处理时,应采取适当的安全措施,以防止泄漏和意外事故的发生。
最后更新:2024-04-10 22:29:15