管理员
仪器描述
产品简介：
BOC Edwards EXT泵适用于除zei苛刻的半导体应用和科学应用(这些领域可使用STP系列泵)以外的任何领域。EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷轴承和磁悬浮轴承的组合形式。陶瓷轴承与传统轴承相比具有更轻、更硬和更平稳的优点，以及寿命长、小振动的优点。由于轴承滚珠和轴承座使用了不同材料，防止了微小凹陷而提高可靠性。
功能特点：
* 兼容TIC涡轮仪表控制器。
* 多种通讯模式。
* 并口，用于传统控制信号接口。
* 串口，用于RS-232接口。
* 通过RS-232接口，用户可以设置各种参数RS-232。
* 正常泵速显示。
* 准备转速显示。
* 泵温。
* 增强型泵速、功耗、温度监测。
技术参数：
入口法兰 DN63ISO-K
压缩比
N2 >1 x 10E11
He 1 x 10E6
出口法兰 DN16NW
级间口(Hi型) DN25NW
放气口 1/8 inch BSP
吹扫净化口 1/8 inch BSP
zei高入口压力(抽轻气体) *
水冷(水温15°C，大气温度40°C) 2 x 10E-2 mbar
空冷(大气温度35°C) 1 x 10E-2 mbar
额定转速 90000 rpm
工作转速 49500～90000 rpm (缺省 63000 rpm)
转速达到90%所需时间 ** 110 s
冷却方式 空冷/水冷
大气温度(空冷) 5-35 °C
冷却水zei低流速(水温15 °C) 15 l/h
水温范围 10-20 °C
入口法兰zei高温度 100 °C
工作姿态 垂直
噪音(1m处) <50 dB(A)
控制器(推荐) TIC100 涡轮控制器或TIC100涡轮仪表控制器
重量 3.0 kg
前级泵也可以使用抽速更大的旋片泵，还可使用极限真空小于5mbar的隔膜泵。
超出该入口压力时，转速为额定转速。
此时功率80W。
没安装入口筛网。安装筛网时，泵速下降约10%。
前级泵为两级旋片泵，并烘烤48小时。
Pb <5 mbar(500 Pa)并烘烤48小时
前级泵也可以使用抽速更大的旋片泵，还可使用极限真空小于5mbar的隔膜泵。
超出该入口压力时，转速为额定转速。
此时功率80W。
没安装入口筛网。安装筛网时，泵速下降约10%。
前级泵为两级旋片泵，并烘烤48小时。
Pb <5 mbar(500 Pa)并烘烤48小时
EXT75DX 爱德华复合涡轮分子泵,EXT75DX
EXT75DX 爱德华复合涡轮分子泵信息由北京科宇翔贸易有限公司为您提供，如您想了解更多关于EXT75DX 爱德华复合涡轮分子泵报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
粤公网安备44196802000105号
400-6226-992