小型离子溅射仪

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仪器简介：
本仪器主要适用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜（金膜），仪器操作简单方便，是配合中小型扫描电子显微镜制样必备的仪器。
技术指标：
玻璃处理室：∮100毫米，高度130毫米
试样台尺寸：∮40毫米可同时放6个样品杯
金靶尺寸：∮58毫米
真空系统：直联旋片真空泵1升/秒
真空检测：皮氏计
真空保护：20Pa配有微量充气阀调节工作真空
工作室工作媒介气体：空气或氩气，配有氩气专用进气口和微量充气调节
可以溅射铁、钴、铒