产品特点
是中国第一家研发制造生产出在线式微波清洗系统的企业,其中全自动微波PLASMA清洗系统已经成熟应用在先进封装行业。
1.频次高,可精细化清洗,多应用于先进封装和晶圆极封装;
2.等离子腔内360度运动,清洗彻底;
3.等离子密度大,同等时间内清洗效果好。
4.腔内无电极
5.可反复清洗,不伤产品。
详细介绍
烧结前:用环氧树脂导电胶粘片前如果用等离子体对载体正面进行清洗,可以提高环氧树脂的粘附性,去除氧化物以利于焊料回流,改善芯片与载体的连接,减少剥离现象,提高热耗散性能。用合金焊料将芯片往载体上进行共晶烧结时,如果由于载体上有污染或表面陈旧而影响焊料回流和烧结质量,在烧结前用等离子清洗载体,对保证烧结质量也是有效的。
引线键合前:在进行引线键合前用等离子清洁焊盘及基材表面,会显著提高键合强度和键合线拉力的均匀性。对键合点,焊接点的表面清洁意味着消除纤薄的污染表层。
塑封前:IC在进行塑封时要求塑封材料与芯片、载体、金属键合脚等各种不同材料有较好的粘附性,如果有沾污或表面活性差,就会导致塑封表面层剥离,如果用等离子清洗后再封装可以有效提高表面活性,改善粘附性,提高封装的可靠性。




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