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| 取点间隔 | 10nm | 最大扫描点数 | 10000 |
| 扫描速度 | 0.1ms/min | Z轴测量范围 | 130nm |
| Z轴分辨率 | 13nm |
产品特点
详细介绍
Technical Agreement & Configuration
技术协议及配置
一、 设备概述 Product Description
1、 Name： 3D Microscope
名称： 3D 显微镜
2、 Type： Zeta-20A
型号： Zeta-20A
3、 Product Features:
产品特点：
l The Zeta-20A advanced surface measurement system provides 3D imaging and metrology capabilities in a flexible, cost-effective package. Zeta Instruments’ proprietary focus map technology enables rapid, true-color imaging and quantitative analysis of surfaces for off-line product inspection. The Zeta-20A automatically gathers data on step height, feature volume, dimensions and roughness on multiple measurement sites to give you the data you need to monitor and optimize your manufacturing processes.
Zeta-20A是集三维成像和计量功能于一身的先进表面测量系统。它功能配备齐全、使用方便，是三维测量系统中性能价格比的选择。Zeta-20A能够自动聚焦采集样品上的多个点的工艺参数，如台阶高度、体积、尺寸及粗糙度等，为您提供监控及优化生产流程所需的数据。
l Zeta metrology systems have the unique capability to combine multiple measurement functions into a single tool. Our Solar TRIPLE PLAY configuration targets solar cell characterization by providing three key measurements in one high-value tool package.
泽塔测量系统的独到之处在于它能集多种测量功能于一身。 我们的太阳能三合一应用软件包以太阳能电池业为服务对象，提供高价值的三项关键测量功能。
l Texture Characterization - Our optical profiling capability permits the rapid analysis of textured surfaces. 3D visualization delivers a qualitative view of the surface, while feature size histograms, linear and areal roughness calculations provide quantitative data on base or acid etched surface textures.
绒面分析 - 我们的光学轮廓测量功能可以用来对绒面做快速分析。 三维图像可以提供绒面的定性资料。 而绒面上的几何特征（如金字塔等）尺寸的直方图， 线和面粗糙度的计算值等可用来定量描述由酸或碱腐蚀所产生的绒面特征。
l Finger Contact Profiling - Imaging solar finger metal contacts is difficult because of the vast difference in reflectivity between the AR-coated texture and the metal contact. The textured area can have a reflectivity of 0.5% or less while the metal reflectivity can be over 90%. Zeta solar application software includes anti-halation algorithms that compensate for the huge difference in surface brightness to generate clear 3D images of the contact on the texture while also delivering accurate step height and profile data.
金属栅线轮廓测量 – 由于金属栅线上光的反射率与镀有防反膜的绒面上光的反射率之间存在着巨大的差异，要对绒面上的金属栅线进行成像比较困难。往往绒面区域的反射率小于0.5％，而金属区域的反射率可超过90％以上。泽塔太阳能应用软件运用反光晕算法，弥补了不同区域表面亮度之间的巨大差异，从而可以清晰地对金属栅线进行三维成像，同时提供准确的台阶高度值和轮廓分布数据。
二、 设备配置 Configuration
Item 项目 | Article No. 型号 | Description 描述 |
1 | BSE-0020-01 | The Zeta-20A wafer metrology package includes the following features: ZETA20A测量系统包含如下特点 Max sample size: 350mm x 350mm XY stage travel: 180mm x 200mm 最大测试样品350mm x 350mm，XY轴行程为180mm x 200mm One software license and a desktop PC with minimum specifications: 软件许可证及具有如下配置的桌面电脑
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2 | PER-0126 | 24" LCD Color Monitor. 1960 x 1280 pixels 24寸液晶显示器，1960 x 1280像素 |
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