产品特点
直接位置测量从1nm分辨率线性编码器
详细介绍
产品介绍:


高重复性(80nm)和精度(1 um),最小移动量25nm
直接位苦测量从1nm分辨率线性编码器
i速度可达1.2m/s和3.5g加速度
60,110,210 mm行程可选
内置控制器
非接触无铁超精密直线电机,高动态和零反弹
直接安装在XY轴
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产品介绍:


高重复性(80nm)和精度(1 um),最小移动量25nm
直接位苦测量从1nm分辨率线性编码器
i速度可达1.2m/s和3.5g加速度
60,110,210 mm行程可选
内置控制器
非接触无铁超精密直线电机,高动态和零反弹
直接安装在XY轴