双层管式炉

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产品型号：
OTF-1200X-III-D5-4 双层管式炉

产品简介：
OTF-1200X-III-D5-4 双层管式炉是三温区的双层石英管式炉，zei高工作温度是1200°C ，双层管式炉采用双层结构，在二层之间有间隙。在这个间隙里，可以采用CVD（化学气相沉积）的方法在金属箔上生长薄膜，是特别为生长太阳能电池、蓄电池所使用的石墨烯而设计的一款专用设备。

主要特点：
1、双层石英管：外管外径127mm(5”),内管外径101mm(4”)，金属箔缠绕在内管的外壁上用于CVD化学反应。

2、双层石英管的真空密封法兰允许反应气体通过双层管的20mm间隙进行化学反应。双层管结构允许冷却气体强制通过内管内部而达到快速冷却的效果。

3、zei高工作温度：1200°C  

4、提供真空阀和真空表。

5、详细工作原理请参见下图。







 

技术参数：
1、三温区: 共900mm,（ 36"） 。

一温区: 229mm  (9")

二温区: 457mm  (18.0")

三温区: 229 mm (9")

如果三个温区设置在同一个温度，可以在长达625 mm （25"）的恒温区上具有 +/- 1°C 的测温精度。

2、三个温区分别用30段温度控制器测量温度，并且具有 +/- 1° C 的精度。

3、zei高温度： 1200°C  。

4、连续工作温度：  1100°C

5、允许加热速率： <= 20°C /min   

产品规格：
1030 x 430 x 580 mm  ( 不算法兰和炉管 )

标准配件：
1、二根高纯熔凝石英管：

a、130 mm外径x 120 mm内径x 1400 mm 长度
b、101mm 外径 x   95 mm内径 x 1400 mm长度

2、一对SS304不锈钢法兰,用于二个石英管之间的密封支撑。

3、法兰有水冷保护套。当温度大于 900°C时，要通水冷却，可以使用自来水冷却，也可以使用水冷机循环冷却。

4、KF25 卡箍接口安装在左边法兰上，用于连接炉体与真空泵。

5、右法兰安装了不锈钢针阀。

可选配件：
冷水机、铜箔

双层管式炉,OTF-1200X-III-D5-4

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途