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仪器描述
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CXF-200/1401型磁悬浮分子泵
CXF-200/1401型磁悬浮分子泵
磁悬浮分子泵是依靠磁力轴承支撑轴系的分子泵。系列磁悬浮分子泵是KYKY为满足现代半导体制备、芯片制造、工业镀膜、科研设备等领域应用需求开发的真空获得设备，抽速为1400L/s到3000L/s，应用压力范围为20Pa到10-7Pa，包含ISO-K、ISO-F、ISO-CF三种气体入口连接形式。
产品特点
节能：无摩擦，避免热损耗、较其它类型产品能耗降低30％
高效：更长的连续工作时间、高气流量和高抽速
灵活：紧凑型结构，满足更小的物理空间需求、任意角度安装，适合各种设计需求、丰富扩展功能，满足客户定制化需求
技术指标
| 抽气速率（l/s） | N2：1400 Ar：1360 He：880 H2：560 | 压缩比 | N2：＞1E7 Ar：＞1E7 He：＞1E4 H2：＞1E3 |
| 极限压强（Pa） | 10-6（橡胶密封） 10-7（金属密封） | 进气口法兰 | DN200 ISO F（标配） DN200 CF(可选) DN200 LF(可定制) |
| 额定转速（rpm） | 30000 | 启动时间（min） | ≤6 |
| 停机时间（min） | ≤16 | 安装方式 | 任意角度 |
| 冷却方式 | 水冷 | 推荐前级泵抽速（l/s） | ≥16 |
应用领域
半导体、光伏、平板显示、装饰镀膜、功能镀膜、科学研究、新能源、新材料、高能物理
中科科仪真空泵 CXF-200/1401 应用于电子/半导体, CXF-200/1401
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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
粤公网安备44196802000105号
400-6226-992