高真空电阻热蒸发&电子枪镀膜机&手套箱

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产品参数

渗漏率

≤0.001vol%/h

水含量

≤1ppm

Lab2000 Auto系列是一种多功能镀膜设备(热蒸发/热阻蒸发和电子束蒸发可选)，设计用于满足科研工作者和电子显微学家的需求。可配备各种真空系统、真空腔室和标准化工艺附件，提供一系列实验技术以满足现代化实验室的需要。可选择配置钟罩式玻璃腔室、圆柱形玻璃腔室，也可以配置通用的前开门式不锈钢箱式腔室。腔室具有额外的高度与宽度，适用于安装较多的工艺附件。客户可选择的模块化工艺附件，包括热阻蒸发源及其控制电源、电子束蒸发源、遮挡板、基片夹具以及膜厚监控仪等。

高真空电阻热蒸发&电子枪镀膜机&手套箱,Lab2000

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途