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Su-3500
仪器描述/
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产品参数

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二次电子图象分辨率 3.0nm/30kV;7.0nm/3kV放大倍数7 - 800,000倍
电子光学预对中的钨灯丝背散射电子图像分辨率0nm@10kv
加速电压0.3-30kV电子枪种类钨灯丝
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主要特点:

1、 钨灯丝电镜独 有分辨率指标:二次电子7nm@3kv,背散射电子10nm@10kv;

2、 低电压低真空表现优异,可观察不 良导体的表面形貌和细节信息

3、 自动化功能速度快,自动准确度高,适合高吞吐量工作和电镜操作基础薄弱者操作;

 

应用领域:

1、 生物医学

2、 食品卫生

3、 电子半导体

4、 汽车制造

5、 新能源

 

 

日立扫描电镜SU3500 除了继承日立钨灯丝扫描电镜经典机型 S-3400 的优势外,还在电子光学系统、真空系统、操作界面等方面做了很大改进。

1、全新设计的光学系统和信号处理技术,使得图像质量有很大的提高。

2、 四偏压改为六偏压设计,低压下成像能力更强,甚至在 1.5kV 下发射电流达 300μA。

3、高灵敏度背散射探测器的低压分辨率指标 10nm@5kV,为业内首 次突出,分辨率也有很大提升。

4、首 次引入实时的 3D 动态观测,样品无需样品台倾斜即可拍摄 3 维立体图像。


技术参数

项目

描述

二次电子分辨率3.0nm(加速电压=30kV,WD=5mm高真空模式)
7.0nm(加速电压=3kV,WD=5mm高真空模式)
背散射电子分辨率4.0nm(加速电压=30kV,WD=5mm低真空模式)
10.0nm(加速电压=5kV,WD=5mm高真空模式)
放大倍率5 - 300,000倍(底片倍率*5
7 - 800,000倍(显示器显示倍率*6
加速电压0.3 - 30kV
可变压力范围6 - 650Pa
最大样品尺寸直径 200mm
样品台X0 - 100mm
Y0 - 50mm
Z5 - 65mm
R360°
T-20° - 90°
可观察区域直径 130mm (旋转并用)
最大样品高度80mm(WD=10mm)
马达台5轴标配
电子光学系统电子枪预对中的钨灯丝
物镜光阑4孔可动光阑
探检测器埃弗哈特 索恩利 二次电子探测器
高灵敏度半导体背散射电子检测器
EDX分析 WD10mm(取出角35°)
图像显示操作系统Windows® 7*7(如有更改,恕不另行通知)
图像显示模式全屏模式(1,280 × 960 像素)
小屏模式(800 × 600 像素)
双图像显示(800 × 600 像素)
四屏幕显示(640 × 480像素)
信号混合模式
排气系统操作全自动排气
涡轮分子泵210升/秒 × 1
机械泵135L/min(162L/min,60Hz)× 1


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日立二手扫描电镜 SU-3500 二手钨灯丝电镜 二手SEM+EDS,Su-3500

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