详细介绍
Hitachi S—3400N型扫描电子显微镜
采用TMP分子泵真空系统,节省占地面积和电源功耗。
主要用于对材料的微观形貌、组织和成分进行有效分析。
扫描电子显微镜
新研制的电子光学系统和自动化功能显示系统有全屏显示,无闪烁,高像素和实时图像显示等优异的性能,它还可以实时信号混合并同时显示两个不同的检测器观测到的互不相同的样品信息。
通过高画质提升扫描电镜的分析能力和操作性,高灵敏度半导体背散射电子检测器可以在快速扫描模式下运行,这使得寻找大尺寸样品中感兴趣的区域更为简单和便利。
1)分辨率二次电子探头:≤3.0 nm(在30kV,高真空模式),≤10 nm(在3 kV,高真空模式);
被散射探头:≤4.0 nm(在30kV,低真空模式)。
2)加速电压:0.3kV~30kV连续可调。
3)放大倍数:zui低倍率5倍,zui高倍率300,000倍。
4)真空系统① 具有低真空功能,高低真空切换,不需要安装压差光阑;② 真空度:高真空不低于0.1 mPa;低真空(压力范围):10 Pa—270 Pa;
5)电子光学系统① 电子枪:钨灯丝,具有自动偏压+4级偏压功能;② 聚光镜光阑完全安装在长内衬管内,可自行更换聚光镜光阑。
6)样品室和样品台① 样品台尺寸:装载直径≥200 mm样品;② 样品台(五轴样品台,2轴马达驱动功能);③ 行程:X=100 mm;Y=50 mm;Z=50 mm;R=3600;T=-20~+900;
7)探测器及成像系统① 二次电子探测器:二次电子像;高灵敏5分割背散射电子探测器:成分像、形貌像和三维像;②成像模式:同时得到二次电子像,背散射电子像,两种图像混合像;





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