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完善的射频和离子源控制系统；快速达到放电稳定状态（10s以内）；中和器快速稳定（3s以内）；在导轨上移动，移动距离大于3米；法兰安装方便；配射频中和器。
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完善的射频和离子源控制系统；快速达到放电稳定状态（10s以内）；中和器快速稳定（3s以内）；在导轨上移动，移动距离大于3米；法兰安装方便；配射频中和器。
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