AP-MTE1小型热蒸发镀膜机

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Ecopia科研用小型热蒸发镀膜机 - 极高性价比！

型号：AP-MTE1

产地：韩国原装进口

仪器特点：

1/ 沉积材料：金属；

2/ 膜厚均匀性：≤ ± 5 % (4英寸基底)；

3/ 沉积方式：热蒸发舟；

4/ 极限真空：5.0 x 10 ^-6 Torr；

技术规格：

1/ 最大样品尺寸：4英寸；

2/ 基底旋转：0~10rpm；

3/ 不锈钢腔体，ID250 x H300 mm；

4/ 真空泵：机械泵，150L/Min；扩散泵，215L/Sec；

5/ 薄膜厚度监控：石英振荡传感器实时厚度控制；

6/ 厚度精度：0.5%；

7/ 热蒸发源：4英寸热蒸发舟，交流电源；