AP-MMS1小型磁控溅射镀膜机

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Ecopia科研用小型磁控溅射镀膜机 - 极高性价比！

型号：AP-MMS1

产地：韩国原装进口

仪器特点：

1/ 沉积材料：金属；

2/ 膜厚均匀性：≤ ± 5 % (4英寸基底)；

3/ 沉积方式：直流磁控溅射；

4/ 极限真空：1.0 x 10 ^-3 Torr；

技术规格：

1/ 最大样品尺寸：4英寸；

2/ 基底旋转：0~10rpm；

3/ 不锈钢腔体，ID250 x H300 mm；

4/ 真空泵：机械泵，150L/Min；

5/ 靶枪：2英寸直径 (选配：3英寸)；

6/ 直流电源：2KW(800V - 2.5A)；

7/ 气体传输模块：MFC控制，氩气，100sccm；