SI-FZ斐索干涉仪
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yunshiji

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yunshiji (先生)

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SI-FZ斐索干涉仪

斐索干涉仪原理为等厚干涉，单色光束在标准平面或标准球面上，部分反射为参考光束；部分透射并通过被测件后反射回来的光束作为检测光束。检测光束自准返回，与参考光束重合，形成等厚干涉条纹。斐索干涉仪是检测光学元件面形、光学镜头波面像差以及光学材料均匀性等参数的一种精密仪器。

SI-FZ斐索干涉仪实验原理图：