氦质谱检漏仪

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仪器简介：

ZLS-24D/M型氦质谱检漏仪（以下简称仪器）是成都仪器厂开发的新一代“正流原理”的真空检漏仪：采用涡轮分子泵作主排气机，启动快（仅五分钟即可使用）。仪器可以在测试口压强大约为1000Pa时，采用逆扩散方式进行大漏检漏，也可以在测试口压强为优于50Pa时采用常规方式进行检漏；用常规方式检漏时，可以在分流状态下检漏（测试口压强在50～10-1Pa），也可以在不分流状态下检微小的漏隙（测试口压强在优于10-1Pa时）。仪器能自动寻峰，读数方便,有音响报警装置。
主要技术参数：
仪器的启动时间：不大于5min
最小可检漏率：优于1×10-11Pa.m3/s(负压法)
反应时间：不大于3s
质谱室允许工作的压强：1×10-2Pa
测试口允许工作的压强：1000Pa
检漏接口：KF25
仪器的轮廓尺寸：640*550*980mm3
仪器的重量：约75Kg
主要配置：涡轮分子泵一台
前级机械泵一台
粗抽机械泵一台
校准漏孔1只（有计量校验证书）
质谱分析室1套（成都仪器厂）
控制电路及电磁阀（成都仪器厂）
      工控计算机1台
      喷枪1套（成都仪器厂）
     ZLS氦质谱检漏仪控制分析系统V1.0

仪器供电电源：220V±10%，功率约为2Kw