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| 加速电压 | 0.3-30kV | 放大倍数 | 7-800,000 |
详细介绍
主要特点：
1、 钨灯丝电镜独 有分辨率指标：二次电子7nm@3kv,背散射电子10nm@10kv;
2、 低电压低真空表现优异，可观察不 良导体的表面形貌和细节信息
3、 自动化功能速度快，自动准确度高，适合高吞吐量工作和电镜操作基础薄弱者操作；
应用领域：
1、 生物医学
2、 食品卫生
3、 电子半导体
4、 汽车制造
5、 新能源
技术参数
项目 | 描述 | |
| 二次电子分辨率 | 3.0nm（加速电压=30kV，WD=5mm高真空模式） | |
| 7.0nm（加速电压=3kV，WD=5mm高真空模式） | ||
| 背散射电子分辨率 | 4.0nm（加速电压=30kV，WD=5mm低真空模式） | |
| 10.0nm（加速电压=5kV，WD=5mm高真空模式） | ||
| 放大倍率 | 5 - 300,000倍（底片倍率＊5） | |
| 7 - 800,000倍（显示器显示倍率＊6） | ||
| 加速电压 | 0.3 - 30kV | |
| 可变压力范围 | 6 - 650Pa | |
| zui大样品尺寸 | 直径 200mm | |
| 样品台 | X | 0 - 100mm |
| Y | 0 - 50mm | |
| Z | 5 - 65mm | |
| R | 360° | |
| T | -20° - 90° | |
| 可观察区域 | 直径 130mm （旋转并用） | |
| zui大样品高度 | 80mm（WD=10mm） | |
| 马达台 | 5轴标配 | |
| 电子光学系统 | 电子枪 | 预对中的钨灯丝 |
| 物镜光阑 | 4孔可动光阑 | |
| 探检测器 | 埃弗哈特 索恩利 二次电子探测器 | |
| 高灵敏度半导体背散射电子检测器 | ||
| EDX分析 WD | 10mm（取出角35°） | |
| 图像显示 | 操作系统 | Windows® 7＊7（如有更改，恕不另行通知） |
| 图像显示模式 | 全屏模式（1,280 × 960 像素） | |
| 小屏模式（800 × 600 像素） | ||
| 双图像显示（800 × 600 像素） | ||
| 四屏幕显示（640 × 480像素） | ||
| 信号混合模式 | ||
| 排气系统 | 操作 | 全自动排气 |
| 涡轮分子泵 | 210升/秒 × 1 | |
| 机械泵 | 135L/min（162L/min，60Hz）× 1 | |
日立扫描电镜SU3500 除了继承日立钨灯丝扫描电镜经典机型 S-3400 的优势外，还在电子光学系统、真空系统、操作界面等方面做了很大改进。
1、全新设计的光学系统和信号处理技术，使得图像质量有很大的提高。
2、 四偏压改为六偏压设计，低压下成像能力更强，甚至在 1.5kV 下发射电流达 300μA。
3、高灵敏度背散射探测器的低压分辨率指标 10nm@5kV，为业内首 次突出，分辨率也有很大提升。
4、首 次引入实时的 3D 动态观测，样品无需样品台倾斜即可拍摄 3 维立体图像。
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