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产品特点
大容量可组合使用。大于150kL/min的容量也可按要求提供。
2.缩短周期时间
大容量约为atm.压力，可实现高速泵送，Z适合大型L/L室
用于溶剂抽空的泵也在排队
详细介绍
1.可用于大尺寸的Wafer & FPD
大容量可组合使用。大于150kL/min的容量也可按要求提供。
2.缩短周期时间
大容量约为atm.压力，可实现高速泵送，最适合大型L/L室
用于溶剂抽空的泵也在排队
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