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| 测量范围 | 0-5SLM | 准确度 | 1% |
| 介质温度 | 常温 | 工作压力 | 低于1MPa |
| 管径范围 | 1/4 |
产品特点
畅销型号: SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-341、SEC-441.
可选高精度数字式：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、E440J，
Horiba MFC被广泛的应用于半导体、太阳能、实验室、环境监测仪中。尤其在扩散炉中得到了广大客户的支持。适用于从微小流量0.2sccm到大流量500slpm的控制。
另提供扩散炉专用
流量计大氮SEC-E50，N2，20SLPM；
详细介绍
扩散炉专用Horibastec质量流量计SEC-E40，小氮
畅销型号: SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-341、SEC-441.
可选高精度数字式：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、E440J，
Horiba MFC被广泛的应用于半导体、太阳能、实验室、环境监测仪中。尤其在扩散炉中得到了广大客户的支持。适用于从微小流量0.2sccm到大流量500slpm的控制。
另提供扩散炉专用
流量计大氮SEC-E50，N2，20SLPM；
流量计 硅烷 SEC-E40，SiH4，5SLPM；
流量计 氨气 SEC-E440J，NH3,7SLPM 或 500SCCM；
恒温水槽 Yamato BV100S;
循环泵 CP08-PPRE-10；
程序板 VS4 等。
技术规格
型号 | SEC- (质量流量控制器) | SEC-E40、SEC-E40MK3 | SEC-E50、SEC-E50MK3 |
SEF- (质量流量计) | SEF-E40 | E50 | |
适用气体种类*1 | 非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He) | ||
气体接触部材质 | SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢 | ||
阀门型号 | 非通电时 关闭 | ||
标准流量量程 (N2相应F.S.) | 10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM | 20/30 SLM | |
流量控制范围 | 2〜100% F.S.
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