扫描电子显微镜
SEM3200
SEM3200是一款高性能、应用广泛的通用型钨灯丝扫描电子显微镜。拥有出色的成像质量、可兼容低真空模式、在不同的视场范围下均可得到高分辨率图像。
大景深,成像富有立体感。丰富的扩展性,助您在显微成像的世界中尽情探索。
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| 加速电压 | 0.2-30KV | 放大倍数 | 1-300,000x(底片倍率) 1-1000,000x(屏幕倍) |
| 分辨率 | 3nm@30KV |

扫描电子显微镜
SEM3200
SEM3200是一款高性能、应用广泛的通用型钨灯丝扫描电子显微镜。拥有出色的成像质量、可兼容低真空模式、在不同的视场范围下均可得到高分辨率图像。
大景深,成像富有立体感。丰富的扩展性,助您在显微成像的世界中尽情探索。
丰富的扩展性 SE\BSE\EDS\EBSD等
光学导航 可快速定位目标样品和感兴趣区域
*大图拼接 可实现全自动的采图和拼接,展示超大视野画面
图像混合成像(SE+BSE) 在一个图像中观察到样品的成分和表面信息
双阳极结构 双阳极结构设计,提升了低电压下的分辨率和成像质量
*低真空模式 在低真空下提供样品表面细节和形貌,软件一键切换真空状态(*为选配件)
产品特点(*为选配件)
低电压
碳材料样品,低电压下,穿透深度较小,可以获取样品表面真实形貌,细节更丰富。


毛发样品,在低电压下,电子束辐照损伤减小,同时消除了荷电效应。


低真空
过滤纤维管材料,导电性差,在高真空下荷电明显,在低真空下,无需镀膜即可实现对不导电样品的直接观察。


大视场
生物样品,采用大视场观察,能够轻松获得瓢虫整体形貌及头部结构细节,展现跨尺度分析。


导航&防碰撞
想看哪里点哪里,导航更轻松
标配仓内摄像头,可拍摄高清样品台照片,快速定位样品。

可通过双击移动、鼠标中键拖动、框选放大,进行快捷导航
如框选放大:在低倍导航下,获得样品的大视野情况,可快速框选您感兴趣的样品区域,提高工作效率。


采取多维度的防碰撞方案:
1. 手动输入样品高度,精准控制样品与物镜下端距离,防止发生碰撞;
2. 基于图像识别和动态捕捉技术,运动过程中对仓内的画面进行实时监测;
3.*硬件防碰撞,可在碰撞一瞬间停止电机,减少碰撞损伤。

特色功能
直观反映整个视野的像散程度,通过鼠标点击清晰处,可快速调节像散至最佳。


一键聚焦,快速成像。


一键消像散,提高工作效率。


一键自动亮度对比度,调出灰度合适图像。


SEM3200软件支持一键切换SE和BSE的混合成像。可同时观察到样品的形貌信息和
成分信息。



拖动一条线,图像立刻“摆正角度”。


丰富拓展性
扫描电子显微镜不仅局限于表面形貌的观察,更可以进行样品表面的微区成分分析。
SEM3200接口丰富,除支持常规的二次电子探测器(ETD)、背散射电子探测器(BSED)、X射线能谱仪(EDS)外,也预留了诸多接口,如电子背散射衍射(EBSD)、阴极射线(CL)等探测器都可以在SEM3200上进行集成。
背散射电子成像模式下,荷电效应明显减弱,并且可以获得样品表面更多的成分信息。
镀层样品:


钨钢合金样品:


探测器设计精巧,灵敏度高,采用4分割设计,无需倾斜样品,可获得不同方向的阴影像以及成分分布图像。




四个单通道的阴影像

成分像
LED小灯珠能谱面分析结果。

钨灯丝电镜束流大,完全满足高分辨EBSD的测试需求,能够对金属、陶瓷、矿物等多晶材料进行晶体取向标定以及晶粒度大小等分析。
该图为Ni金属标样的EBSD反极图,能够识别晶粒大小和取向,判断晶界和孪晶,对材料组织结构进行精确判断。

应用案例


产品参数
| 型号 | SEM3200A | SEM3200 | ||
|---|---|---|---|---|
| 电子光学系统 | 电子枪类型 | 预对中型发叉式钨灯丝电子枪 | ||
| 分辨率 | 高真空 | 3 nm @ 30 kV(SE) | ||
| 4 nm @ 30 kV(BSE) | ||||
| 8 nm @ 3 kV(SE) | ||||
| *低真空 | 3 nm @ 30 kV(SE) | |||
| 放大倍率 | 1-300,000x(底片倍率) | |||
| 1-1000,000x(屏幕倍) | ||||
| 加速电压 | 0.2 kV~30 kV | |||
| 成像系统 | 探测器 | 二次电子探测器(ETD) | ||
| 背散射电子探测器、低真空二次电子探测器、*能谱仪EDS等 | ||||
| 图像保存格式 | TIFF、JPG、PNG | |||
| 真空系统 | 真空模式 | 高真空 | 光学导航 | |
| 低真空 | 光学导航 | |||
| 控制方式 | 全自动控制 | |||
| 涡轮分子泵 | ≥ 240 L/S | |||
| 机械泵 | 200 L/min (50 Hz) | |||
| 样品室 | 摄像头 | 光学导航 | ||
| 样品仓内监控 | ||||
| 样品台配置 | 三轴自动 | 五轴自动 | ||
| 行程 | X: 120 mm | X: 120 mm | ||
| Y: 115 mm | Y: 115 mm | |||
| Z: 50 mm | Z: 50 mm | |||
| / | R: 360° | |||
| / | T: -10°~ +90° | |||
| 软件 | 语言 | 中文 | ||
| 操作系统 | Windows | |||
| 导航 | 光学导航、手势快速导航 | |||
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 | |||
| 特色功能 | 智能辅助消像散、*大图拼接(选配软件) | |||
| 安装要求 | 房间 | 长 ≥ 3000 mm,宽 ≥ 4000 mm,宽 ≥ 4000 mm | ||
| 温度 | 20 ℃~25 ℃ | |||
| 湿度 | ≤ 50 % | |||
| 电气参数 | 电源AC 220 V(±10 %),50 Hz,2 kVA | |||
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