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SEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电子显微镜，其分辨率达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物镜设计、高压隧道技术（SuperTunnel）以及镜筒工艺升级，实现了低电压分辨率的进一步提升。全新设计的样品仓，扩展接口增加至16个，快速换样仓支持8寸晶圆（直径208 mm），极大扩展应用范围。高级扫描模式和自动功能增强，带来了更强的性能和更好的体验。
| 加速电压 | 20 V ~ 30 kV | 放大倍数 | 1 ~ 2,500,000 x |
| 分辨率 | 0.6 nm@15 kV 1.0 nm@1 kV |
产品特点
SEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电子显微镜，其分辨率达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物镜设计、高压隧道技术（SuperTunnel）以及镜筒工艺升级，实现了低电压分辨率的进一步提升。全新设计的样品仓，扩展接口增加至16个，快速换样仓最大支持8寸晶圆（最大直径208 mm），极大扩展应用范围。高级扫描模式和自动功能增强，带来了更强的性能和更好的体验。
详细介绍
超高分辨场发射扫描电子显微镜
SEM5000X
SEM5000X
产品优势
超高分辨率成像，达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV
样品台减速和高压隧道技术组合的双减速技术，挑战极限样品拍摄场景
高精度机械优中心样品台、超稳定性的机架减震设计，可搭配整体罩壳设计，极大减弱环境对极限分辨率的影响
支持8寸晶圆(直径208 mm)的快速换样仓，满足半导体和科研应用需求
- 应用案例
介孔二氧化硅/1 kV（Dul-Dec）/lnlens
阳极氧化铝板 /10 kV/Inlens
芯片/5 kV/BSED-COMP
肾脏切片 /5 kV/BSED-COMP
泡沫镍/2 kV/ETD-SE
蓝宝石衬底/5 kV/ETD-SE
金颗粒/1 kV/Inlens
光刻胶/2 kV/ETD-SE
磁性粉末/10 kV/Inlens
二氧化硅球/3 kV/ETD-SE
催化剂/1 kV/ETD-SE
波导/1 kV/ETD-SE
- 产品参数
关键参数 分辨率 0.6 nm @ 15 kV，SE 1.0 nm @ 1 kV，SE 高分辨率模式观察视野 ≥5mm@5kV 工作距离WD <9mm 加速电压 20 V ~ 30 kV 放大倍率 1 ~ 2,500,000 x 电子枪类型 肖特基场发射电子枪,稳定性≥0.2%/h 样品室 真空系统 全自动控制 摄像头 双摄像头（光学导航+样品仓内监控） 图像存储分辨率 48×32k像素 样品台类型 五轴优中心马达驱动样品台 样品台行程 X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm
X=130mm，Y=130mm，Z=50mm（选配）
T: -10°~+70°，R: 360°
T=-4~70°、R=360°(旋转)
（选配）
样品舱室尺寸 360mm x 317mm x 310mm
支持8寸晶圆进行观察
探测器和扩展 标配 镜筒内电子探测器 旁侧二次电子探测器（ETD） 选配 插入式背散射电子探测器(BSED) 插入式扫描透射探测器（STEM） 能谱仪（EDS） 背散射衍射（EBSD） 样品交换仓（4寸和8寸可选） 轨迹球&旋钮控制板 样品台减速 磁场噪音屏蔽系统（SEMI认证） 支持定制 EBIC功能 进行吸收电流测量、吸收电流成像和电子束感生电流成像 原位加热芯片 结合EDS等多种不同模式，实时、动态监测样品成分演化等关键信息 样品可见光学检测子系统 可实现在室温环境中对待检测样品进行光学预检查，包含5X、10X、20X、50X、100X无限远物镜，以及高清CCD相机和测量软件 软件 语言 中文 操作系统 Windows 导航 光学导航、手势快捷导航 图像显示 1536x1024像素，至少2台24”LCD显示器 图像记录 TIFF、JPG、PNG、BMP 自动功能 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散
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粤公网安备44196802000105号
400-6226-992