系统名称

硅烷中杂质分析检测系统。

设计思路

我公司设计的“高纯气分析检测系统”包括以下主要设计思路：

●  专台专用，在完全满足检测要求的前提下，优化组合配套；

●  仪器的选型配套，要符合实验室的使用要求，并且便于分析人员的操作；

●  提供人性化的售后服务和支持，保证使用方能独立操作。

技术优势

我公司设计的“高纯气分析检测系统”方案拥有以下技术优势：

●  色谱仪的部件----检测器完全基于爱尔兰AGC公司的自主研发， 具有较高的灵敏度、较好的稳定性；

●  色谱仪的气路系统----独到的中心切割、反吹系统技术，可以完成多种复杂成分的分析检测；

●  色谱仪的软件系统----专门为AGC色谱配套研发的Trend Vision，除完成测试、自动分析/存储数据，自动绘制谱图、反控气相色谱、调节保留时间及各种切割动作外，多可同时控制4台分析仪器；

●  本方案中所配套的露点仪，为行业内先进的气体分析仪器，可以完全满足实验室高纯气体的检测。

方案详解

方案总述

● 硅烷中H₂、O₂、N₂、CH₄、CO、CO₂杂质分析

推荐仪器：AGC 100DID气相色谱仪

数量：1台

● 特气分析专用吹扫系统一套

硅烷中H₂/O₂/N₂/CH₄/CO/CO₂杂质分析----AGC100DI

检测器工作原理

nnecttype="rect" o:extrusionok="f">放电离子化检测器的结构如图1所示。该检测器由电离室和放电室两部分组成，两室之间有狭路相通。当在放电室内的两个高压电极上加以适量高压电后，两电极之间就会产生放电，从而得到一束高能量的紫外光辐射(400－500nm)。高能紫外光被引入射向电离室内，在这过程中，高能光子直接照射样品成份中被测杂质分子，使其电离形成离子，或者高能光子首先将载气氦原子激发至亚稳态(He*)，然后具有较高能量的He*再与样品中杂质分子发生非弹性碰撞并使其电离。此时在集电极上加以适当电压收集被电离的杂质分子，并将其信号放大记录即得到被测成份的谱峰。由于光子具有较高能量(24.8ev)，因此可使包括氖在内的一切物质分子电离，所以，DID是一种高灵敏度、通用型检测器。

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