石墨烯CVD

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应用：

- 大面积石墨烯（Graphene ）沉积：>150mm wafers

优势：

- zei佳研发用

-低廉的价格

-沉积参数数字化控制

-加热和冷却时间可控

- 气体饱和时间可控

-层层沉积可控（ＡＬＤ模式）

特点：

－高纯度石墨烯生产

－整体集成化过程模组

－先进的过程装备，气体脉冲时间短

－过程控制简单（zei优化的软件）

石墨烯CVD,1000

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途