生产型光伏行业专用原子沉积设备

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应用：

-硅太阳能电池表面钝化（Surface  Passivation)

-生产用（量产型）

特点：

-过程保证

-高产出：>1600 wph

                 >3200 wph

-易于维护

-前躯体源价格经济

-集成化过程模组

-Cassette to Cassette 操作

-气体管路集成化（专利技术）

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生产型光伏行业专用原子沉积设备,GS

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途